Tổ sư họ Lê, húy Thiệt Diệu, hiệu Liễu Quán, khánh sanh vào giờ Thìn ngày 18 tháng 11 năm Đinh Mùi [1667] tại làng Bạc Má, huyện Đồng Xuân, tỉnh Phú Yên (nay thuộc thị trấn Chí Thạnh, huyện Tuy An, tỉnh Phú Yên).

Ngài mồ côi mẹ từ năm lên 6 tuổi [1673]. Năm 12 tuổi [1678], trong một lần được thân phụ đưa đi chùa Hội Tôn ở Phú Yên lễ Phật, được gặp Hòa thượng Tế Viên rồi xin Hòa thượng xuất gia tại đây. Học đạo tại chùa Hội Tôn được 7 năm [1680] thì Hòa thượng Tế Viên viên tịch. Sau khi lo lễ tang của Thầy hoàn tất, Ngài lên đường ra Thuận Hóa, đến núi Hàm Long đảnh lễ Giác Phong Lão Tổ xin học đạo. Năm Tân Mùi [1691], sau hơn 10 năm học đạo tại đây, và sau một năm được xuống tóc, Ngài xin phép Giác Phong Lão Tổ trở lại quê nhà Phú Yên để phụng dưỡng thân phụ đang ốm bệnh. Sau bốn năm thì thân phụ Ngài qua đời.

Năm Ất Hợi [1695], Ngài lại trở ra Thuận Hóa cầu thọ Sa-di giới tại Giới đàn chùa Thiền Lâm, do Quốc chúa Nguyễn Phúc Chu tổ chức, Hòa thượng Thạch Liêm Đại Sán làm Đàn đầu truyền giới. Hai năm sau, vào năm Đinh Sửu [1697], Ngài thọ Cụ túc giới với Từ Lâm Lão Tổ. Sau khi đắc giới Cụ túc, ngài vào tịnh tu tại một ngôi miếu nhỏ dưới chân Hòn Mô (núi Ngự Bình), và đến mùa Đông năm ấy [Đinh Sửu, 1697], Quốc chúa Nguyễn Phúc Chu chính thức cho trùng tu ngôi miếu thành chùa và sắc ban biển hiệu “Sắc tứ Viên Thông Am”

Tôn dung Tổ sư Thiệt Diệu Liễu Quán do Họa sĩ Phạm Đăng Trí thể hiện

Đến năm Kỷ Mão [1699], Ngài tham lễ khắp chốn tòng lâm Thuận Hóa để tìm cao tăng cầu học đạo thiền. Năm Nhâm Ngọ [1702], Ngài tìm đến chùa Ấn Tôn (tức Từ Đàm ngày nay) ở núi Long Sơn, đảnh lễ Tổ Minh Hoằng Tử Dung cầu học pháp tham thiền và được Tổ trao công án:

“Vạn pháp qui nhất, nhất qui hà xứ?”

(Muôn pháp về một, một về chỗ nào?).

Song đến bảy, tám năm tham cứu mà chưa lãnh hội được, trong lòng Ngài tự lấy làm hổ thẹn. Một hôm, nhân đọc sách Truyền đăng lục đến câu: “Chỉ vật truyền tâm, nhân bất hội xứ” (Chỉ vật truyền tâm, người không hiểu rõ được), Ngài hoát nhiên tỏ ngộ yếu chỉ thiền. Tuy nhiên vì núi sông cách trở, Ngài không thể đến đến Long Sơn gặp Tổ sư Tử Dung để trình sở ngộ của mình.

Mãi đến mùa xuân năm Mậu Tý [1708], Ngài trở lại chùa Ấn Tôn cầu Tổ sư Tử Dung ấn chứng. Khi nghe Ngài trình bày hiểu biết của mình, đoạn nói đến câu “Chỉ vật truyền tâm, nhân bất hội xứ”,thì Tổ Tử Dung dạy: “Huyền nhai tán thủ, Tự khẳng thừa đương, Tuyệt hậu tái tô, Khi quân bất đắc” (Hố thẳm buông tay, Một mình cam chịu, Chết rồi sống lại, Ai dám chê ngươi?).

Tổ Tử Dung hỏi: “Ý câu trên là thế nào, nói thử xem?”.

Ngài Liễu Quán không đáp, chỉ vỗ tay cười ha hả.

Tổ Tử Dung bảo: “Chưa phải!”.

Ngài Liễu Quán thưa: “Bình chùy nguyên thị thiết” (Quả cân vốn là sắt).

Tổ sư lại bảo: “Cũng chưa phải!”.

Sáng hôm sau, Tổ Tử Dung thấy Ngài đi ngang, liền gọi lại bảo: “Chuyện hôm qua chưa xong, nói lại xem!”.

Ngài Liễu Quán thưa: “Tảo tri đăng thị hỏa, Phạn thục dĩ đa thì!” (Sớm biết đèn là lửa, Cơm chín đã lâu rồi!).

Tổ sư Tư Dung rất khen.

Mùa hạ năm Nhâm Thìn [1712], Tổ sư Tử Dung vào Quảng Nam dự lễ “Toàn viện”, nhân đó Ngài trình lên Tổ sư bài kệ “Dục Phật” (Tắm Phật).

Tổ sư hỏi: “Tổ Tổ truyền nhau, Phật Phật truyền nhau, chẳng hay truyền trao nhau cái gì?”.

Ngài thưa: “Thạch duẩn trừu điều trường nhất trượng, Quy mao phủ phất trọng tam cân”(Búp măng trên đá dài một trượng, Cây chổi lông rùa nặng ba cân).

Tổ sư lại đọc: “Cao cao sơn thượng hành thuyền, Thâm thâm hải để tẩu mã” (Chèo thuyền trên núi cao, Phi ngựa dưới đáy bể). Rồi hỏi: “Nghĩa là sao?”.

Ngài thưa: “Chiết giác nê ngưu triệt dạ hống, Một huyền cầm tử tận nhật đàn” (Trâu đất gãy sừng rống suốt đêm, Đàn tranh đứt dây gẩy trọn ngày).

Nhận thấy Ngài Liễu Quán lâm cơ ứng luận rất phù hợp nên Tổ sư Tử Dung tỏ ý hài lòng và ấn chứng. Ngài chính thức đắc pháp tâm thiền.

Lễ tảo tháp Tổ sư Liễu Quán là một trong những nếp sinh hoạt truyền thống của Phật giáo cố đô

Sau khi được Tổ sư Tư Dung ấn chứng, Tổ Liễu Quán vân du thuyết pháp độ sinh từ Phú Yên đến Thuận Hóa, suối pháp trải khắp xứ Đàng Trong.

Mùa xuân năm Nhâm Dần [1722], Tổ Liễu Quán trở về Thuận Hóa và trú tại tổ đình Viên Thông. Trong các năm Quý Sửu [1733], Giáp Dần [1734] và Ất Mão [1735], Ngài liên tiếp tổ chức ba Đại giới đàn tại Thuận Hóa để truyền trì mạng mạch Phật pháp. Năm Canh Thân [1740], Ngài được cung thỉnh làm Đường đầu Hòa thượng tại Đại giới đàn Long Hoa. Đến mùa xuân năm Nhâm Tuất [1742], Ngài lại mở Giới đàn tại chùa Viên Thông, có hơn bốn ngàn đệ tử xuất gia và tại gia thọ giới.

Sáng ngày 21 tháng 11 năm Nhâm Tuất [1742], tại chùa Viên Thông, Tổ Liễu Quán dạy đồ chúng đem bút mực ra để viết bài kệ:

Thất thập dư niên thế giới trung

Không không sắc sắc diệc dung thông

Kim triêu nguyện mãn hoàn gia lý

Hà tất bôn mang vấn tổ tông?

(Hơn bảy mươi năm trong thế giới

Không không, sắc sắc đã dung thông

Hôm nay nguyện mãn về chốn cũ

Nào phải ân cần hỏi tổ tông?).

Làm bài kệ xong, có vị đệ tử khóc thành tiếng, Tổ sư dạy: “Quý vị đừng khóc. Chư Phật thị hiện còn nhập Niết-bàn, còn tôi thì đường đi nẻo về đã rõ ràng, không việc gì mà phải khóc”.

Vào giờ Mùi, ngày 22 tháng 11 năm Nhâm Tuất [1742], Ngài viên tịch tại Tổ đình Viên Thông, thọ thế 76 tuổi, với 43 năm truyền y bát, 34 năm thuyết pháp lợi sanh. Đệ tử xuất gia và tại gia có đến ngàn vạn, cao đồ có 49 người.

Tháng 2 năm Quý Hợi [1743], môn đồ tứ chúng cử hành lễ thỉnh kim quan Tổ sư nhập bảo tháp Vô Lượng Quang dưới chân núi Thiên Thai.

Cảm mến đức độ của Tổ sư, chúa Nguyễn Phúc Khoát đã ban thụy là “Chánh Giác Viên Ngộ Hòa thượng” và cho khắc bi minh tán dương công hạnh của Ngài.

Ngày tốt tháng 4 năm Mậu Thìn, niên hiệu Cảnh Hưng thứ 9 [1748], môn đồ tứ chúng dựng bia ký tháp Tổ, do Hòa thượng Thiện Kế - hàng cháu trong đạo ở tại chùa Tang Liên, huyện Ôn Lăng, tỉnh Phúc Kiến, Trung Hoa phụng soạn.